在先進(jìn)制程半導(dǎo)體制造中，深紫外DUV光刻、CMP研磨、濕法刻蝕等工藝對(duì)潔凈車間空氣品質(zhì)管控標(biāo)準(zhǔn)持續(xù)升級(jí)，氨氣、氯化氫、有機(jī)揮發(fā)物等AMC氣態(tài)分子污染物即便低至sub-ppb級(jí)別，也極易附著晶圓表面，誘發(fā)光刻膠中毒、關(guān)鍵尺寸偏移、芯片良品率下滑等生產(chǎn)隱患，AMC在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)已成為晶圓廠制程管控剛需。杜克泰克DK-S4500F-AMC痕量級(jí)AMC空氣分子污染物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，依托CEAS腔增強(qiáng)吸收光譜、EIMS增強(qiáng)離子遷移譜、紫外脈沖熒光、氣相色譜聯(lián)用多項(xiàng)核心技術(shù)，打造全組分一體化在線監(jiān)測(cè)方案，守護(hù)半導(dǎo)體潔凈車間生產(chǎn)環(huán)境安全。

　　本套監(jiān)測(cè)系統(tǒng)整合四大檢測(cè)技術(shù)路線，實(shí)現(xiàn)酸堿氣態(tài)污染物與有機(jī)雜質(zhì)全品類精準(zhǔn)測(cè)定：采用CEAS腔增強(qiáng)吸收光譜技術(shù)完成HF、HCl、NH?等酸性、堿性氣體sub-ppb級(jí)連續(xù)監(jiān)測(cè)；增強(qiáng)離子遷移譜EIMS針對(duì)性解析MA類腐蝕性無機(jī)污染物；紫外脈沖熒光法穩(wěn)定檢測(cè)NO?與氨氣組分；增強(qiáng)型GC-FID/GC-PID色譜技術(shù)精準(zhǔn)定量DOP、DBP、DEP、BHT、NMP及TVOCs等MC類有機(jī)污染物，四類技術(shù)協(xié)同工作，構(gòu)建完整AMC污染物在線監(jiān)測(cè)閉環(huán)，單通道響應(yīng)速度可達(dá)5秒，全組分檢出限低至0.1ppb，測(cè)量準(zhǔn)確度控制在2%以內(nèi)，量程跨度最高可達(dá)1:100000，可依據(jù)客戶待測(cè)氣體類型靈活定制量程參數(shù)。
 

　　硬件配置與采樣設(shè)計(jì)充分適配半導(dǎo)體潔凈廠房復(fù)雜工況。系統(tǒng)搭載4~64通道可編程多點(diǎn)采樣單元，采用SiO?涂層不銹鋼閥組，單通道采樣周期1~99分鐘自由設(shè)定；標(biāo)配PFA、PVDF耐腐蝕采樣管路，單點(diǎn)最遠(yuǎn)采樣管線長(zhǎng)度80米，內(nèi)置防爆抽氣泵與前置除塵過濾器，自動(dòng)濾除水汽、微米級(jí)顆粒物干擾，規(guī)避采樣介質(zhì)污染造成的數(shù)據(jù)失真。整機(jī)無機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，固態(tài)模塊化設(shè)計(jì)可在0~45℃、濕度＜90%RH無凝露環(huán)境下7×24小時(shí)無人值守連續(xù)運(yùn)行，出廠完成整機(jī)標(biāo)定，長(zhǎng)期免維護(hù)運(yùn)行，大幅降低工廠運(yùn)維成本與停機(jī)損耗。

　　系統(tǒng)智能化與數(shù)據(jù)拓展能力適配現(xiàn)代化工廠數(shù)字化管控需求。機(jī)身搭載7英寸觸控嵌入式工控屏，實(shí)時(shí)展示實(shí)時(shí)數(shù)值、歷史趨勢(shì)曲線、超標(biāo)告警信息，2GB本地存儲(chǔ)空間可連續(xù)留存兩年監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)（采樣間隔15s），數(shù)據(jù)支持USB、網(wǎng)口、串口、U盤多途徑導(dǎo)出；通訊標(biāo)配RS232接口，可選配4-20mA模擬量、Modbus工業(yè)總線協(xié)議，輕松對(duì)接工廠MES、潔凈室樓宇自控系統(tǒng)，支持遠(yuǎn)程可視化操控與多點(diǎn)位獨(dú)立報(bào)警設(shè)置，超標(biāo)后繼電器聯(lián)動(dòng)排風(fēng)、過濾系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)污染物源頭快速處置。整機(jī)電源115~230Vac寬電壓適配，意外斷電時(shí)本地?cái)?shù)據(jù)自動(dòng)保存不丟失，保障生產(chǎn)數(shù)據(jù)完整可追溯。

　　產(chǎn)品廣泛落地深紫外先進(jìn)光刻區(qū)、CMP化學(xué)研磨、濕法蝕刻、離子注入、薄膜沉積、潔凈廠房新風(fēng)/回風(fēng)管路全場(chǎng)景AMC在線管控，助力工廠精準(zhǔn)溯源過濾器失效、車間微量氣體泄漏問題，延長(zhǎng)化學(xué)過濾器使用壽命，減少非計(jì)劃停工頻次。依托國(guó)產(chǎn)化精密檢測(cè)技術(shù)優(yōu)勢(shì)，DK-S4500F-AMC打破進(jìn)口監(jiān)測(cè)設(shè)備壟斷，以超高檢測(cè)精度、穩(wěn)定運(yùn)行性能，成為國(guó)內(nèi)12英寸晶圓廠、先進(jìn)封裝產(chǎn)線AMC環(huán)境管控優(yōu)選在線監(jiān)測(cè)裝備，持續(xù)賦能國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)線良率提升與國(guó)產(chǎn)化智能制造升級(jí)。